為了到達所需的高真空度，真空爐需求通過真空泵抽取內部氣體，使得內部壓強下降到一個可接受的規模內。真空泵包含機械泵、分子泵、分散泵等，它們會將真空爐的內部氣體不斷抽取并排放到大氣中，直到到達所需的真空度。

不同物質制備需要不同的真空度規模，

真空爐是一種高溫處理設備，一般需要在真空環境下進行操作。

不同的試驗和制備過程需求不同的真空度，一般根據試驗需求來確認所需的真空度。

熱應力：由于爐內溫度散布的不均勻性，真空爐石墨件可能會遭到熱應力的影響，導致開裂或變形。

真空爐石墨件在真空爐中需求承載和支撐爐內物料或工件。這要求真空爐石墨件具有滿足的強度和剛度，以承受高溫文真空環境下的機械應力。

化學穩定性：石墨在真空爐中可能接觸到各種化學物質，包含腐蝕性氣體、熔融金屬等。因而，真空爐石墨件需要具有杰出的化學穩定性，以抵抗這些化學物質的侵蝕和腐蝕。