真空爐內部還有一個重要的部分便是真空體系，它主要由真空泵和各種真空閥門組成。

為了保持爐膛內的高溫狀況，真空爐的內部還需要有隔熱層。

結構形式：石墨加熱器一般規劃為棒狀、管狀或其他形狀，以習慣不同的加熱需求。

資料的純度和結晶度：高純度和高結晶度的石墨資料可以進步真空爐石墨件的耐高溫功能和抗氧化才能。

當加熱元件通電時，會發生高溫，從而使爐膛內的物質加熱。石墨棒比電阻絲愈加耐高溫，在加熱過程中不易損壞，因此被廣泛應用于高溫真空爐中。

真空爐的加熱元件一般是由電阻絲或石墨棒制成的，其布置方法可所以水平的或筆直的。

連接部分則擔任將石墨件與爐體或其他結構件連接在一起，通常選用金屬材料制成，以確保在高溫和真空環境下的穩定性和可靠性。