水冷設備，真空熱處理爐的爐殼、爐蓋、電熱元件導別處置(水冷電極)、中心真空隔搶手等部件，均在真空、受熱狀態下作業。在這種極為晦氣的條件下作業，有必要保證各部件的結構不變形、不損壞，真空密封圈不過熱、不焚毀。因此，各部件應該依據不同的情況設置水冷設備，以保證真空熱處理爐可以正常工作并有足夠的運用壽數。

真空淬火爐是由爐體、爐體鋼支架、可拆式爐頂、爐襯、電熱元件、循環風機、導風板、爐底對開式爐門、倍速升降組織、料架、淬火槽、運料車、操控體系及配電柜/操控柜、液壓體系等組成。爐體外殼結構選用型鋼焊接成型，內壁選用1Cr18Ni9Ti耐熱鋼板，內襯選用高品質全纖維結構，爐殼內外表貼附一層橡膠石棉板，起到隔熱作用并保護爐殼外表不被腐蝕。加熱元件選用加熱元件選用0Cr25AL5合金絲繞制成帶狀，套在絕緣瓷管上，經過不銹圓鋼固定于爐殼上，這種結構電阻帶懸掛在爐膛四周，有利與熱量宣布和流轉。熱風循環設備由通風機設備和導風板組成，通風機設備安放在爐體頂部，電扇選用1Cr18Ni9Ti耐熱鋼制造成離心式風葉。導風板選用1Cr18Ni9Ti耐熱鋼制成，經過若干個擱桿固定于爐膛內壁上，將電阻帶包裹在里面，經過熱風循環體系將電阻帶宣布的熱量進行熱循環，使爐內溫度均勻。通風設備按爐膛容積制造，保證熱風循環次數在40次/分鐘以上。

石墨棒跟著運用溫度越高壽數為越短，尤其在棒的表面溫度逾越1500°C往后，氧化速度加快，壽數縮短，運用中留意盡量不要讓石墨棒表面溫度過高。

真空爐加熱功率的復校跟著爐子運用時刻的延伸，隔熱屏的熱阻變小，電熱元件蒸騰而電阻變大等因素的影響，應適當添加功率。隔熱屏的修補隔熱屏在真空爐中起隔熱、保溫作用，有時也作為固定加熱器的結構基礎。

真空爐的電熱元件是通過輻射向工件傳熱，所以在其他條件相一起，真空爐的溫度比非真空爐的要高。不過，只在低溫爐中溫度不同才比較顯著。

真空爐一般由爐膛﹑電熱設備﹑密封爐殼﹑真空系統﹑供電系統和控溫系統等組成。密封爐殼用碳鋼或不銹鋼焊成﹐可拆卸部件的接合面用真空密封資料密封。

真空爐一般由爐膛﹑電熱設備﹑密封爐殼﹑真空體系﹑供電體系和控溫體系等組成。密封爐殼用碳鋼或不銹鋼焊成﹐可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。為避免爐殼受熱后變形和密封材料受熱蛻變﹐爐殼一般用水冷或氣冷降溫。爐膛位于密封爐殼內。根據爐子用途﹐爐膛內部裝有不同類型的加熱元件﹐如電阻﹑感應線圈﹑電極和電子槍等。熔煉金屬的真空爐爐膛內裝有坩堝﹐有的還裝有自動澆注設備和裝卸料的機械手等。真空體系主要由真空泵﹑真空閥門和真空計等組成。