碳素鋼。從成本視點考慮，碳鋼價格較低，制品件價格較低，用真空爐處理實屬糟蹋，除非高利潤工件或許工件已經沒有加工余量，對表面質量要求苛刻時的權宜之計

針對合金鋼、高速鋼、模具，齒輪。山東派金研發的雙室滲碳油淬氣冷真空爐，具有油淬和滲碳兩種功能，該設備具有結構新穎、性能先進、能耗低、安全可靠等特點。

當即關閉設備的總功率。2.關閉各管道的真空閥，防止空氣進入真空爐。3.加熱室通風選用高純氮至6.6×10-4，使爐盡快冷卻。穩定器提早通風到冷卻室，以加熱閘閥。4.假如運用再生水冷卻和供水，則應運用備用水(自來水或水庫)。

噴涂烘干，在進行噴涂的烤漆進行烘干的時分，運用真空爐是一種很好的選擇，它有著非常高效的烘干枯燥功率，更為可貴的是，真空爐烘干的作用能夠說是十分的均勻，作用非常不錯。

水冷設備，專業真空熱處理爐的爐殼、爐蓋、電熱元件導別處理(水冷電極)、中間真空隔搶手和其他部件都在真空和加熱狀態下作業。在這種晦氣的條件下作業，須確保每個部件的結構不變形不損壞，真空密封圈不過熱不燒壞。因而，水冷設備應根據不同的狀況設置在每個部件上，以確保真空熱處理爐的正常運行和滿足的運用壽命。

機械除霉法。它是清潔和根除真空爐霉變的部分，與其他除霉辦法相結合。機械除霉法中有一種空氣清洗辦法，就是在進氣口裝置一個噴水器，在循環過程中經過噴水清洗霉菌的孢子。這種辦法和現在的濕式冷卻器一樣，能夠減少霉菌。

真空爐可用于半導體職業出產中的氧化、退火、晶體生長、薄膜沉積等環節。