真空燒結爐是在真空環境中對被加熱物品進行維護性燒結的爐子，其加熱方法比較多，如電阻加熱、感應加熱、微波加熱等。真空感應爐是使用感應加熱對被加熱物品進行維護性燒結的爐子，可分為工頻、中頻、高頻等類型，能夠歸屬于真空燒結爐的子類。真空感應燒結爐是在真空或維護氣氛條件下，使用中頻感應加熱的原理使硬質合金刀頭及各種金屬粉末限制體完成燒結的成套設備，是為硬質合金、金屬鏑、陶瓷材料的工業生產而設計的。

待抽真空到表為-0.1MPa時，先封閉左注氣閥銜接的銅球閥，再封閉機械泵銅球閥，最終封閉真空泵電源。

規劃升降溫曲線，升溫速率不得高于10℃/分鐘，降溫速率應低于15℃/分鐘。

凡處理的工件及工裝或料筐等必須清洗潔凈，并枯燥后方可入爐。未經清洗或帶有水跡的工件不得進入爐內。

真空爐處理鈦合金，不宜用氮氣作為冷卻氣體，由于鈦和氮在高溫下反應，形成了金黃色氮化鈦。

在真空熱處理設備這個類別當中，真空淬火爐是運用較為廣泛和具有代表性的典型設備

參照圖紙供給的真空爐平面布置、裝置位置和土建條件，選好設備裝置地址并進行土建施工。裝置地址應無煙塵污染，環境清潔，空氣干燥，不應與其他設備等放在一起，堅持室溫10-35℃，地面平整光亮。