真空爐（vacuum furnace）是真空環境中進行加熱的設備。在金屬罩殼或石英玻璃罩密封的爐膛中用管道與高真空泵體系聯接。爐膛真空度可達133×(10-2～10-4)h。爐內加熱體系可直接用電阻爐絲(如鎢絲)通電加熱，也可用高頻感應加熱。溫度可達3000℃左右。主要用于陶瓷燒成、真空鍛煉、電真空零件除氣、退火、金屬件的釬焊，以及陶瓷-金屬封接等

大部分加熱與隔熱材料只能在直空狀態下使用：典空熱處理爐的加熱與隔熱襯料是在真空與高溫下作業的，因而對這此材料一提出了耐高溫，蒸汽壓低，輻射效果好，導熱系數小等要求，氧化功能要求不高，所以，典空熱處理爐廣泛地選用了鎢、鉑和石墨等作加熱與隔熱構料、這此材料在大氣狀態下極易軌化，因而，常規熱處理爐是不能選用這此加熱與隔熱材料。

真空爐是利用熱媒水的相變進行熱交換的，燃料燃燒釋放出的熱量被熱媒水吸收，當溫度上升至某真空狀態下的飽和溫度時，蒸發成飽和和蒸汽，完成一次相變過程。

真空爐（淬火、回火、退火）就是通過把資料或零件在真空狀態下按工藝規程加熱、冷卻來到達預期功能的一種處理辦法。

它適用于真空度在1.333～3×10Pa規模的真空熱處理爐。中真空體系在真空熱處理爐中使用廣泛，其一般有兩級真空泵機組組成。初級泵多選用旋轉機械泵或滑閥式機械泵，主泵為機械增壓泵（羅茨泵）或油增壓泵。

控溫精度：±1℃ 爐溫均勻度：±1℃. 微電腦全主動控制，可編制多段升、保、降溫曲線，全主動升溫、保溫、降溫文超溫維護，程序運行完畢主動中止，無須值守。

1、操作方便，手動/主動自在切換，可完成全主動操控，充沛避免工作過程中人為操作失誤。